
|



|
Полупроводниковые материалы
(электронный учебник)
Полупроводниковыми
называют материалы, являющиеся по
удельной проводимости промежуточными
между проводниковыми и
диэлектрическими материалами и
отличительным свойством которых
является сильная зависимость удельной
проводимости от концентрации и вида
примесей или различных дефектов, а также
в большинстве случаев от внешних
энергетических воздействий (температуры,
освещенности и т. п.).

|
Рис.1.
Мелкие и глубокие примесные уровни в
запрещенной зоне полупроводника.
|

|
Рис.2.
Вольтамперная характеристика р—n-перехода
|

|
Рис.3.
Схемы транзисторов типа р—n—р
(а) и n—р—n
(б):
Э
– эмиттер, Б – база; К
– коллектор.
|

|
Рис.4.
Последовательность операций при
изготовлении в интегральной
микросхеме изолированного
транзистора со скрытым слоем:
а
— исходная подложка р- типа;
б — окисление; в —
создание отверстий в окисле; г
— получение диффузионного
скрытого слоя; д — удаление
окисла; е — нанесение
эпитаксиального слоя; ж
— создание диффузионного
изолирующего пояса и диффузионной
базы; з — получение
диффузионного эмиттера
|

|
Рис.5. Микрофотография косого шлифа
транзисторной структуры со скрытым
слоем
|
Маркировка
промышленных сплавов кремния и германия
Марка
материала
|
расшифровка
|
r,
Ом×см
(при
300К)
|
L,
мм
(при
300К)
|
примечание
|
КЭФ
0.02
|
0.01-0.03
|
-
|
Кремний
n-типа
(электронный), легированный фосфором
|
КЭФ
0.3/0.1
|
0.25-0.40
|
0.1
|
КДБ
7.5/0.5
|
6.0-9.0
|
0.5
|
Кремний
p-типа,
легированный бором
|
ГЭС
0.004
|
0.003-0.005
|
-
|
Германий
n-типа,
легированный сурьмой
|
ГДГ
5.0/0.1
|
4.2-5.7
|
³1.0
|
Германий
p-типа,
легированный галлием
|
Схема
технологического процесса изготовления
маломощного сплавного транзистора
Ориентация
и резка слитка
|
Þ
|
Обработка
поверхности пластин
|
Þ
|
Разделение
пластины
|

|

|

|
ß
Изготовление
эмиттерных и коллекторных навесок |
Þ
|
Подготовка
припоев |
Изготовление
кристаллодержателя |

|

|

|
ß
|
ß
|
Создание
p-n
переходов сплавлением
|
Припайка
кристалла к кристаллодержателю |

|

|
ß
Изготовление
основания корпуса
|
Подготовка
электродной проволоки
|
Þ
|
Изготовление
крышки корпуса
|
Þ
|
Проверка
параметров, классификация,
маркировка, испытания
|

|

|

|

|
ß
|
ß
|
Крепление
держателя к основанию, присоединение
электродных выводов
|
Защита
лаком, герметизация, окраска,
облужение контактов
|

|

|
ß |
Контроль
качества
приборов
|
|
|